プラスチックフィルム
Plastic Films / Products

ITO(酸化インジウムスズ)誘電フィルムの応用

昨今、スマートフォンを始めとしたタブレット型端末がヒットしており、タッチパネルの需要が飛躍的に伸びております。タッチパネルには欠かせない透明導電フィルムの生産性向上へFSAを提案いたします。

ITOフィルム工程フロー

FSAは適度な耐熱性を備えており、各種熱工程においてITOフィルムを護ります。
  1. ITO成膜工程

     ITO成膜工程

    ITOスパッタリング
    120℃〜140℃の高熱真空内で、高電圧によりイオン化されたガスをターゲット材にぶつけ、フィルム表層にITOを成膜します。

  2. アニール処理

     アニール処理

    アニール処理
    ITOの結晶化や、フィルムのひずみ矯正のために140℃〜150℃で30分程度加熱をします。

  3. 透明導電回路形成

     透明導電回路形成

    エッチング処理
    ITOフィルムを、露光→現像→エッチングといった工程を経て、導電回路を形成します。各工程で、不要部分は薬液により除去されます。

  4. 端子電極形成

     端子電極形成

    スクリーン印刷
    端子電極として、銀ペーストをスクリーン印刷で形成。140℃〜150℃の温度で乾燥します。

※フィルムを傷つけないために、表面保護としてFSAを使用

ITO-PET粘着力データ DATA

データ

FSA 010M 30min加温後のFSA表面状態 Heat-resistant

FSA PE / EVA 粘着力更新(gf/25mm)
常温    
100℃ PE / EVAは120℃
で溶融状態
120℃    
140℃    
150℃   FSAは形状変化なし

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