ITO（酸化インジウムスズ）誘電フィルムの応用

プラスチックフィルム

Plastic Films / Products

昨今、スマートフォンを始めとしたタブレット型端末がヒットしており、タッチパネルの需要が飛躍的に伸びております。タッチパネルには欠かせない透明導電フィルムの生産性向上へFSAを提案いたします。

FSAは適度な耐熱性を備えており、各種熱工程においてITOフィルムを護ります。

　ITO成膜工程

ITOスパッタリング
120℃〜140℃の高熱真空内で、高電圧によりイオン化されたガスをターゲット材にぶつけ、フィルム表層にITOを成膜します。
　アニール処理

アニール処理
ITOの結晶化や、フィルムのひずみ矯正のために140℃〜150℃で30分程度加熱をします。
　透明導電回路形成

エッチング処理
ITOフィルムを、露光→現像→エッチングといった工程を経て、導電回路を形成します。各工程で、不要部分は薬液により除去されます。
　端子電極形成

スクリーン印刷
端子電極として、銀ペーストをスクリーン印刷で形成。140℃〜150℃の温度で乾燥します。